Рост, структура и свойства тонкопленочных нитридных материалов

В настоящей работе проведено изучение влияние метода реактивного распыления на фазовый состав, структуру, кинетику роста и свойства тонкопленочных нитридных покрытий, полученных разными методами реактивного распыления. Экспериментально показано, что пленки, полученные различными методами реактивного распыления на разных подложках являются многофазными и нередко многослойными, причем различие в структуре и свойствах нитридных пленок обусловлено разной энергией ионов азота и титана и разной плотностью их потока, кинетикой и температурой нарастания пленок. Установлено, что при использовании метода ИИ формируются пленки, обладающие высокими механическими, электрическими, адгезионными и электрохимическими свойствами. Пленки, полученные методом КИБ, содержат наиболее высоко дисперсностные нитриды с высокой твердостью, коррозионной стойкостью и адгезией на подложке. Максимальным удельным сопротивлением обладают пленки, полученные методом ИИ на подложках тугоплавких металлов. Выявлено, что в методе ИИ материал подложки оказывает заметное влияние на фазовый состав и структуру наращиваемых пленок, в случае метода КИБ, это влияние незначительно. Впервые теоретически и экспериментально н